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发布时间:2021-01-09 20:39

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  目前,EUV光刻机的部署安装主要在台积电、三星的晶圆代工厂。不过,内存厂商们也开始着手上马了。此前,SK海力士规划的是为年底建成的M16工厂配备,但来自德国CB的消息称,M14老厂也会引进。EUV光刻机参与的将是SK海力士的第四代(1anm)内存,在内存业内,目前的代际划分是1x、1y、1z和1a。EUV光刻机的参与可以减少多重曝光工艺,提供工艺精度,从而可以减少生产时间、降低成本

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